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金屬閘極在HfSiON絕緣層互補式金氧半場效應電晶體之可靠度研究:Impacts on Reliability of Metal Gated CMOSFETs with HfSiON Dielectric
陳啟文 顏良承 葉郁龍 葉文冠 陳育廷 Chen, Chii-wen; Yan, Liang-cheng; Yeh, Yu-long; Yeh, Wen-kuan; Chen, Yu-ting;
明新學報
37:1 2011.02[民100.02]
頁85-93
TCI引用統計