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藉由不同的熱處理界面層上覆蓋氧化鉿鋯高介電材料改善鍺金氧半電晶體的電性研究:Improved Electrical Characteristics of Ge MOSFETs with ZrHfO Stacks by Different Annealing Methods
阮敦寶 張廖貴術 李彥霖 李震謙 陳廷鈞 揚孟穎 蔡尚甫 許奕文 黃晉修
奈米通訊
24:1 2017.03[民106.03]
頁27-31
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