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超高頻PECVD成長微晶矽薄膜:Growth of Microcrystalline Silicon Thin Film by Using 40.68 MHz PECVD System for Solar Cell Application
董福慶 吳佩珊 金崇碩 張翼 黃金花
機械工業
338 2011.05[民100.05]
頁97-104
TCI引用統計