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題 名:
微型壓電超音波致動器之設計與構成:Design and Construction of Micro Piezoelectric Ultrasonic Actuator
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
18 2001.09[民90.09]
- 頁 次:
頁25-37
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題 名:
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題 名:
單軸超音波滑動平臺之設計與特性分析:Design and Analysis of a Single-axis Ultrasonic Sliding Platform
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
20 民92.09
- 頁 次:
頁63-81
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題 名:
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題 名:
微機電系統製程之實作技術:Technical Report of Supplement Guidelines in the MEMS Manufacturing Technology
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
20 民92.09
- 頁 次:
頁250-261
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題 名: