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濕式蝕刻釋放以面型微加工共用製程製造之微光學元件的技術探討:Investigation of Wet Etching for Releasing the Micro Optical Devices with MATA Fabricated by Surface Micromachining Common Process
蔡健忠 黃奕澄 施湘農 林宗煌 陳紀佑 Tsai, Chien-Chung; Huang, Y-Cheng; Shy, Shannon; Lin, Zong-Huang; Chen, Chi-Yu;
明新學報
33 2007.07[民96.07]
頁337-348
TCI引用統計