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題 名:
標準積體電路製程之最佳化微鏡面製動器:A CMOS Process Optimized Curled-Hinge Comb Micro-Mirror
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
287 2007.02[民96.02]
- 頁 次:
頁150-156
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題 名: