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以感應耦合電漿輔助磁控濺鍍法於低溫成長ITO膜:Low Temperature Growth of ITO Films by Inductively-Coupled-Plasma Assisted Magnetron Sputtering Deposition
林信翰 余王傑 侯文棋 洪昭南 王啟任 Lin, Hsin-han; Yu, Jay W.C.; Hou, Wen-chi; Hong, Franklin C.N.; Wang, Chi-jen;
真空科技
24:2 2011.06[民100.06]
頁33-42
TCI引用統計