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題 名:
Sensitivity Analysis of MEMS Force Sensor Beam on the Test Chip:在測試晶片上微機電系統力感測樑的敏感性分析
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
34:2(A) 民95.05
- 頁 次:
頁261-269
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題 名: