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渦輪分子幫浦單級二維流道之直接模擬蒙地卡羅法計算:Numerical Calculations in Two Dimensions for a Single Stage Turbomolecular Pump by Direct Simulation Monte Carlo Method
張郁雯 周榮源 Chang, Yu-wen; Jou, Rong-yuan;
真空科技
12:1 1999.05[民88.05]
頁7-15
TCI引用統計