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A Numerical Study on the Evenness of Gas Flow Field in a Vacuum Chamber for Microwave ECR PE-CVD Process on Large Sized Substrates:對以微波電子迴旋共振電漿增強化學氣相沈積法在大面積基材鍍膜之真空腔室內氣體均勻流場之數值研究
孫明宗 吳振培 Sun, Ming-tsung; Wu, Chen-pei;
中國機械工程學刊
31:5 2010.10[民99.10]
頁435-442
TCI引用統計