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鑽石輪磨及機械化學拋光複合製程應用於藍寶石晶圓薄化加工:
許厲生 古振瑭 陳炤彰 黃姿瑞 柳南煌 謝榮哲
機械工業
254 2004.05[民93.05]
頁107-115
TCI引用統計