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於奈米氧化鋁研磨液中添加界面活性劑對化學機械研磨的影響:Effects of Added Surfactants on Chemical Mechanical Polishing in Nano-Alumina Slurries
蔡子萱 Tsai, Tzu-hsuan;
光武學報
27 2004.03[民93.03]
頁93-103
TCI引用統計