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Application of Piezo-VCM Actuator to Precision Position Control of High-Precision Positioning Table:應用壓電元件與音圈馬達致動器對高精度滑動平臺之精密定位
王俊超 劉永田 馮榮豐 Wang, Jiunn-chau; Liu, Yung-tien; Fung, Rong-fong;
高苑學報
11 民94.07
頁61-66
TCI引用統計