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Corrosion Investigation of Diamond Disk Conditioner in the Slurry of Chemical Mechanical Polishing:鑽石修整器在化學機械拋光溶液中之腐蝕研究
譚安宏 鄭穎駿 李正國 周呈祥 宋健民 Tan, A. H.; Cheng, Y. C.; Lee, C. K.; Chou, Jacky; Sung, James C.;
防蝕工程
20:2 民95.06
頁163-168
TCI引用統計