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題 名:
截斷半徑對銅奈米薄膜壓縮之影響研究:Study on Effect of Truncated Radius to Copper Nano-Scale Film under Compression
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
24 2010.08[民99.08]
- 頁 次:
頁15-23
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題 名:
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題 名:
探討化學機械研磨之最適化製程參數:Investigations on Optimal Process Parameters in Chemical Mechanical Polishing
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
24 2010.08[民99.08]
- 頁 次:
頁423-431
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題 名: