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真空幫浦抽氣性能檢測技術於半導體及光電產業之應用:The Application of Vacuum Pump Performance Evaluation in Semiconductor and Electro-Optic Industries
謝汎鈞 林炳宏 呂日清 Hsieh, Fan-chun; Lin, Ping-hung; Lu, Jih-ching;
科儀新知
32:6=182 2011.06[民100.06]
頁84-90
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