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Development of an Ultra-Precision Positioning Stage Using an Opto-Mechatronic Component from a CD-ROM Drive:以商用光碟機光機電元件發展之低單價高精密定位平臺
顏炳郎 盧天生 顏木田 Yen, Ping-lang; Lu, Tien-sen; Yan, Mu-tian;
中國機械工程學刊
27:1 民95.02
頁47-52
TCI引用統計