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Design Analysis, Measurement and Nanometer Accuracy Position Control of a Low Friction Pneumatic Table Embedded with Aerostatic Bearings:嵌入氣靜壓軸承低摩擦氣壓平臺設計分析、量測與奈米定位控制
施明璋 白凱仁 蘇雅玲 Shih, Ming-chang; Pai, Kei-ren; Su, Ya-ling;
中國機械工程學刊
27:4 民95.08
頁389-401
TCI引用統計