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以離散事件模擬進行晶圓代工回收水系統流程之設計與分析:The Use of Discrete-event Simulation for the Design and Analysis of the Reclaim-water System from an IC Foundry Fab
王炯柱 楊大和 Wang, Jeong-juh; Yang, Taho;
先進工程學刊
4:3 2009.07[民98.07]
頁295-304
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