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射頻濺鍍織構氮化鈦薄膜對銅與矽之擴散阻礙性質評估:Evaluation of Radio-Frequency Sputtered Textured TiN Thin Films as Diffusion Barriers between Copper and Silicon
郭政彰 陳錦山 Guo, J. J.; Chen, G. S.;
真空科技
13:1 2000.03[民89.03]
頁4-14
TCI引用統計
2
以反應性射頻磁控濺鍍法在PET基材上製備氮化鈦薄膜與特性分析:Preparation and Characterization of Titanium Nitride Thin Film Deposited on Polyethylene Terepthalate by Reactive Radio Frequency Magnetron Sputtering
林明志 張立信 Lin, M. C.; Chang, L. S.;
材料科學與工程
38:1 民95.03
頁56-60