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基板加熱對濺鍍TaN薄膜微結構及電性之影響:Effects of Substrate Temperature on the Electrical Properties and Microstructure of Sputtered TaN Films
盧陽明 翁睿哲 黃文星 Lu, Y. M.; Weng, R. J.; Hwang, W. S.;
材料科學與工程
35:1 2003.03[民92.03]
頁1-4
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