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Experimental Quantification of the Residual Stress of Thin Membrane Materials in MEMS Devices Using Point Deflection:
Soulimane, Sofiane; Pouydebasque, Arnaud; Bolis, Sébastien; Jacquet, Fabrice; Bridoux, Claudine; Dupont, Florian; Poulain, Christophe; Moreau, Stéphane; Fanget, Stephane;
Journal of Applied Science and Engineering
17:1 2014.03[民103.03]
頁9-15
TCI引用統計