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題 名:
以脈衝化學氣相沉積類鑽碳薄膜之特性研究:The Study of the Characteristics the DLC Thin Films by Pulsed Discharge CVD
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
31 2011.12[民100.12]
- 頁 次:
頁53-59
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題 名: