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線上即時檢測技術於準分子雷射退火非晶矽膜:Observation of Crystallization Phenomena during Excimer Laser Annealing Using in Situ Optical Reflectivity and Transmissivity Measurement
郭啟全 葉文昌 陳佳斌 鄭正元 Kuo, Chil-chyuan; Yeh, Wen-chang; Chen, Chia-bin; Jeng, Jeng-ywan;
明志學報
38:1 民95.06
頁35-41
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