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沉積氣氛與穩定化熱處理對超高真空磁控濺鍍氧化鎢薄膜相轉變的影響:
廖文祿 蘇偉釧 游冠霖 林中魁 陳錦山
真空科技
18:2 民94.08
頁15-23
TCI引用統計