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The Analysis on the Offset Error of Cross-section Contour by Using the Simulated Measurement Model of Atomic Force Microscopy:模擬原子力顯微鏡對截面輪廓偏移之誤差分析
林榮慶 黃仁清 曾柏展 Lin, Zone-ching; Huang, Jen-ching; Zeng, Bo-jhan;
中國機械工程學刊
28:1 2007.02[民96.02]
頁23-33
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