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高深寬比微結構之創新光學散射關鍵尺寸量測技術:Novel Scatterometry Technique for Critical Dimension Metrology of High-aspect-ratio Microstructures
簡維信 楊福生 傅子英 陳亮嘉 Chein, Wei-hsin; Yang, Fu-sheng; Fu, Zi-ying; Chen, Liang-chia;
科儀新知
235 2023.06[民112.06]
頁76-87
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