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題名 | 300mm晶圓傳送盒氮氣充填最佳化實驗之研究分析= |
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作者 | 林鴻忠; 胡石政; 吳宗明; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 200309 |
卷期 | 246 2003.09[民92.09] |
頁次 | 頁137-144 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 300晶圓傳送盒; 氮氣填充; 氣態分子狀污染物; Front opening unified pod; FOUP; Nitrogen purge; Airborne molecular contamination; AMC; |