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題名 | 半導體工業空氣中揮發性有機化合物之分析= |
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作者 | 黃覃君; |
期刊 | 科儀新知 |
出版日期 | 19981000 |
卷期 | 20:2=106 1998.10[民87.10] |
頁次 | 頁30-38 |
分類號 | 445.63 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 半導體工業; 空氣中揮發性有機化合物; Volatile organic compounds; VOCs; |
中文摘要 | 結合不鏽鋼採樣筒與 GC-MS 分析可成功地應用在半導體廠之空氣 VOCs 的檢測, 本文除說明 VOCs 之定義,介紹 TO-14 之檢測流程與優缺點外, 並舉出半導體廠週界與無 塵室內空氣檢測實例作為說明。 |
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