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來源資料
機械月刊
24:6=275 1998.06[民87.06]
頁412-424
機械工程
>
壓力機械;液壓機械;油壓機械
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題名
半導體製造設備用真空泵浦技術
作者
周榮源
;
陳峰志
;
鄭鴻斌
;
張郁雯
;
書刊名
機械月刊
卷期
24:6=275 1998.06[民87.06]
頁次
頁412-424
分類號
446.74
關鍵詞
半導體製造
;
真空泵浦
;
語文
中文(Chinese)
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