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來源資料
工業材料
175 2001.07[民90.07]
頁134-138
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題名
以微影及帶磨法(Belt Sanding)製作微小孔之技術=
作者
陳曼玲
;
謝添壽
;
劉佩青
;
期刊
工業材料
出版日期
200107
卷期
175 2001.07[民90.07]
頁次
頁134-138
分類號
448.533
語文
chi
關鍵詞
微小孔
;
增層法
;
帶磨法
;
光阻
;
Micro via
;
Build up
;
Belt sanding
;
Photoresist
;
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