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題名 | 銅/矽及銅/矽鍺系統界面反應及室溫氧化之研究=Interfacial Reactions and Room Temperature Oxidation of Cu/Si and Cu/Si Ge Systems |
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作者 | 羅建興; 林文臺; 張俊彥; 施博盛; Luo, J. S.; Lin, W. T.; Chang, C. Y.; Shin, P. S.; |
期刊 | 材料科學 |
出版日期 | 199912 |
卷期 | 31:4 1999.12[民88.12] |
頁次 | 頁211-215 |
分類號 | 440.12 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 聚集現象; 室溫氧化; Cu[feb0] (Si[fec5] Ge戓); Agglomeration; Room temperature oxidation; |