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題名 | 電子束微影技術及應用= |
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作者 | 吳仲卿; 謝蔚諮; 李晃銘; 羅士哲; 楊景棠; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 200008 |
卷期 | 209 2000.08[民89.08] |
頁次 | 頁93-98 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 電子束微影術; 光碟片模板; 光罩; 奈米結構; 微機電; Electron beam lithography; Compact disk mastering; Optical mask; NanoStructures; Micro electro-mechanical systems; |