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題名 | 微閥簡介= |
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作者 | 蔡明杰; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 19970800 |
卷期 | 173 1997.08[民86.08] |
頁次 | 頁126-131 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微閥; |
中文摘要 | 利用微製造技術製作之微閥能精密控制微量流 體,通常控制的液體流量尺度大約為1-100 ul/min, 氣體流量尺度大約為ml/min元件的幾何尺度大約為 釐米級。除了能精密控制微量流體外還具有反應快 速,體積小等優點。由於其製造技術的特性,易於 整合不同感應器、致動器及控制電路於同一晶片 上。因此能在微小的單位體積內提供系統化,多功 化甚至智慧型化之微流體控制模組,亦可陣列組合 微閥以達到精確控制較大流量的功能,預估初期微 閥的應用可能取代部份傳統體積較大,精度較低的 流體控制元件,待整體微加工的技術及各類感應器 及致動器發展較成熟,則微閥的應用將更全面,並 朝多功化、系統模組化發展,對產業的影響將是全 面、創新功能的。 |
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