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題名 | 九0年代之後的半導體長晶技術--Czochralski程序控制與自動化=Slmiconductor Crystal Growth for the 90s and Reyond |
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作者 | 林志馮; | 書刊名 | 工業電機&自動控制裝置與設計 |
卷期 | 1 1996.05[民85.05] |
頁次 | 頁56-60 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 半導體; 長晶技術; Czochralski控制; CZ法; |
語文 | 中文(Chinese) |