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題名 | 微放電加工中能量轉移之研究= |
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作者 | 楊景棠; 何世賢; 卓漢明; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 19980800 |
卷期 | 185 1998.08[民87.08] |
頁次 | 頁165-170 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微放電加工; 能量轉移; |
中文摘要 | 近年來各種微細元件陸續被發表,由於微放電加工具備加工三維工件的能力,因 此微放電加工在MEMS領域中有其極大的發展空間。但是由於放電加工中,極間狀態經歷了 電子射出、分子碰撞、電離�齔末ぞ曭漯垓z現象,使得極間能量分配到陽極、陰極與介電 液三者的比例產生變化,對於加工精度與加工效率影響甚大,加工完的表面狀態更是與放 電狀況息息相關;本文從實驗觀察與理論模擬,以能量的觀點,分析微能量放電對於加工 表面組織的影響;由實驗結果,兩極能量的分配比例隨著放電能量的大小而改變,隨著能 量的增加,能量分配由陽極逐漸轉移至陰極,這意謂著傳統放電加工的放電參數並不適用 於微放電加工,當能量密度小於10 W/cm�揪漫髀q加工,陽極由於經歷激烈的電子碰撞,而 接受較高的能量比例,所以較適合採用工件置於陽極的正極性加工;這項結果對於微放電 加工參數的選定與加工特性的掌握將有所助益。 |
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