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題名 | 半導體廠黃光區空氣中有機混存物分析方法=Analytical method for Workplace Airborne organics in Semiconductor Photolithographic Processes |
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作者 | 施慧中; 鍾瑩; 余榮彬; | 書刊名 | 勞工安全衛生研究季刊 |
卷期 | 4:2 1996.06[民85.06] |
頁次 | 頁111-122 |
分類號 | 412.78 |
關鍵詞 | 半導體廠; 作業環境測定; 脫附效率; 破出測試; Semiconductor; Workplace monitoring; Desorption efficiency; Breakthrough; |
語文 | 中文(Chinese) |