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來源資料
光學工程
52 1995.12[民84.12]
頁17-19
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題 名
微機電技術之熱像感測元件
作 者
陳永茂
;
書刊名
光學工程
卷 期
52 1995.12[民84.12]
頁 次
頁17-19
分類號
448.551
關鍵詞
微機電技術
;
熱像感測元件
;
語 文
中文(Chinese)
中文摘要
近年來由於積體電路技術的突飛猛進,促使利用類似的製程技術--即所謂的微機電技術,來製作各種微小感測元件亦蓬勃發展。室溫操作之紅外線熱像感測元件即是其中成功的產物之一。我們以熱輻射元件及焦電元件等熱型感測元件為例,分別敘述其結構及性能。目前元件性能不但可媲美需冷卻系統的光子感測元件,而且與積體電路製程相容,可大量製作降低成本,已成為商用熱像感測元件的主流。
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