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題名 | 以田口方法在不同的拋光參數下取得最佳玻璃移除率研究= |
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作者 | 吳文傑; 方明達; 鄭錫勳; 劉旭唐; 何宗漢; |
期刊 | 工程科技與教育學刊 |
出版日期 | 20140600 |
卷期 | 11:2 2014.06[民103.06] |
頁次 | 頁252-263 |
分類號 | 448.5 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 田口方法; 化學機械拋光; 移除率; 訊號/雜訊比; |
中文摘要 | 本文使用田口方法在不同的拋光參數下取得最佳玻璃移除率的研究。研究中使用厚度0.7mm的玻璃基板,並搭配氧化鈰拋光液與拋光墊,在固定的拋光時間之下,選擇影響玻璃基板厚度移除量較顯著的拋光參數當作條件因子,使用田口方法L_(18)(2^1×3^5)的直交表進行實驗,拋光後再針對玻璃基板厚度移除量數據進行數據分析,期望得到最佳玻璃基板厚度移除量所使用的拋光參數。由訊號/雜訊比分析結果顯示,針對單位時間內玻璃厚度移除量最佳重要的因子為下盤轉動速度,經過驗證實驗,預測參數與實際拋光結果訊號/雜訊比差異僅0.48(dB),本研究的實驗結果能有效提高玻璃基板拋光減薄製程的效率。 |
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