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機械工業
279 民95.06
頁29-42
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題名
奈米轉印國際發展現況=International Development Status of Nanoimprint Technology
作者
吳兆棋
;
何侑倫
;
陳守仁
;
陳來勝
;
期刊
機械工業
出版日期
20060600
卷期
279 民95.06
頁次
頁29-42
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
轉印微影技術
;
奈米轉印微影術
;
捲式製程
;
Imprint lithography
;
IL
;
Nanoimprint lithography
;
NIL
;
Roll-to-roll
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