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題名 | 300mm晶圓傳送盒(FOUP)開門之氣流及粒狀污染物動態分析=Dynamic Analysis on Airflow and Particulate Contaminant during the Door Opening Period of the Front Opening Unified Pod for 300 mm Wafer Loading/Unloading Processes |
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作者 | 胡石政; 黃俊文; Hu, S. C.; Huang, J. W.; |
期刊 | 潔淨科技 |
出版日期 | 20040800 |
卷期 | 7 民93.08 |
頁次 | 頁37-46 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 晶圓傳送盒; 氣狀污染物; 動態模擬; Front opening unified pod; FOUP; Airborne particulate contaminants; Dynamic simulation; |