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來源資料
微系統暨奈米科技協會會刊
11 2004.06[民93.06]
頁71-92
電機工程
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電燈廠
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題名
新型紫外光厚膜光阻開發與應用=
作者
謝建文
;
謝佑聖
;
楊啟榮
;
李育德
;
期刊
微系統暨奈米科技協會會刊
出版日期
20040600
卷期
11 2004.06[民93.06]
頁次
頁71-92
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
紫外光厚膜光阻
;
LIGA製程
;
頁籤選單縮合
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