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題 名 | 利用雷射誘導擊穿技術及結合拉曼光譜進行半導體材料分析=Applications of LIBS, Raman and LIBS-Raman Spectroscopy |
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作 者 | 黃曉瑜; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 441 2023.09[民112.09] |
頁 次 | 頁78-88 |
專 輯 | 化合物半導體粉體晶錠與晶片材料分析技術專題 |
分類號 | 448.65 |
關鍵詞 | 雷射誘導擊穿光譜技術; 拉曼光譜儀; 延遲時間; 半導體材料; Laser induced breakdown spectroscopy; LIBS; Raman; Gate delays; Semiconductor material; |
語 文 | 中文(Chinese) |