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來源資料
機械新刊
67 2022.06[民111.06]
頁40-47
機械業;電機資訊業
>
半導體業
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題 名
真空泵在半導體與光電產業的應用與發展
作 者
盧素涵
;
書刊名
機械新刊
卷 期
67 2022.06[民111.06]
頁 次
頁40-47
專 輯
流體機械專輯
分類號
484.51
關鍵詞
真空泵
;
半導體設備
;
光電產業
;
平面顯示器
;
語 文
中文(Chinese)
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