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題名 | 光碟片塗佈計量控制探討=Investigations in Coating Control for Optical Disks |
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作者 | 許嘉龍; 林祐源; 蔣東堯; 張永鵬; 康淵; Hsu, J. L.; Lin, Y. Y.; Jiang, D. Y.; Chang, Y. P.; Kang, Y.; |
期刊 | 先進工程學刊 |
出版日期 | 20080700 |
卷期 | 3:3 2008.07[民97.07] |
頁次 | 頁257-260 |
分類號 | 465.61 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 旋轉塗佈; 塗佈量; 計量控制; 隔膜閥; Spin coating; Coating flow; Spray flow control; Diaphragm valve; |