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題名 | Polymer Thin-Film-Based Dry Immersion Photolithography=高分子薄膜乾式浸潤濕光微影方式 |
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作者 | 黃奕翔; 鄭正元; Huang, Yi-hsiang; Jeng, Jeng-ywan; |
期刊 | 中國機械工程學刊 |
出版日期 | 20111200 |
卷期 | 32:6 2011.12[民100.12] |
頁次 | 頁587-592 |
分類號 | 448.552 |
語文 | eng |
關鍵詞 | 半導體製程; 浸潤式微影; 高分子薄膜; Immersion; Photolithography; Thin film; |