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題名 | 多晶矽薄膜/鋁誘發多晶矽薄膜製備與特性之研究=The Research of the Polycrystalline Silicon Thin Film/ Aluminum Induced Polycrystalline Silicon Thin Film Process and Performance |
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作者 | 董福慶; 王瑞豪; 郭政宜; 陳家富; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 20080200 |
卷期 | 299 2008.02[民97.02] |
頁次 | 頁123-126 |
分類號 | 440.33 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 鋁誘發結晶技術; 晶種層; 電漿偶合氣相沈積系統; 多層接合太陽電池; Aluminum induced crystallization technology; Seed layer; PECVD; Multi-junction solar cell; |