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來源資料
零組件雜誌
240 2011.10[民100.10]
頁116-119
電機工程
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電燈;照明電器
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匯出書目
題 名
QMEMS打造高性能Photo AT元件
作 者
林志遠
;
書刊名
零組件雜誌
卷 期
240 2011.10[民100.10]
頁 次
頁116-119
分類號
448.5
關鍵詞
半導體光微影製程
;
石英晶體
;
石英振盪器
;
Photolithography process
;
QMEMS
;
Photo AT
;
語 文
中文(Chinese)
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