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來源資料
工程
84:3 2011.06[民100.06]
頁82-88
電機工程
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電燈廠
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匯出書目
題 名
應用犧牲層技術製作微過濾晶片
作 者
張耀仁
;
黃經緯
;
書刊名
工程
卷 期
84:3 2011.06[民100.06]
頁 次
頁82-88
分類號
448.57
關鍵詞
微過濾器
;
微影
;
壓電蜂鳴片
;
語 文
中文(Chinese)
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