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題 名 | 以濺鍍後硒化法製作高效率大面積CIGS太陽能電池=High Efficiency Large Scale CIGS Solar Cell Fabricated by Sputtering/selenization Methods |
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作 者 | 沈昌宏; 謝嘉民; 吳宗達; 黃哲瑄; 戴寶通; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 342 2011.09[民100.09] |
頁 次 | 頁16-26 |
專 輯 | 微/奈米製造技術專輯 |
分類號 | 484.51 |
關鍵詞 | 銅銦鎵硒薄膜太陽能電池; 連續式濺鍍系統; 大型硒化爐; CIGS solar cell; In-line sputtering system; Large-scale selenization furnace; |
語 文 | 中文(Chinese) |